Валерий Юрьевич Киреев
Известный специалист в области разработки новых технологических процессов и оборудования для ионной и плазменной обработки материалов полупроводниковой электроники.
В.Ю. Киреевым разработаны многочисленные технологические процессы вакуумно-плазменного травления и осаждения различных функциональных слоев, используемых в интегральных микросхемах и микроэлектромеханических системах.
Он является автором теории процессов плазмохимического травления, методик расчета и отработки технологических характеристик операций и параметров устройств плазмохимического и ионного травления и распыления.
Под руководством В.Ю. Киреева был реализован проект запуска и технологического освоения комплектаспециального оборудования первой в России доверительной минифабрики по производству интегральных схем.
В последнее десятилетие он успешно занимается исследованиями фундаментальных основ нанотехнологий, на основе которых им предложены и экспериментально реализованы ряд процессов получения материалов и структур с уникальными физико-химическими свойствами.
В.Ю. Киреев доктор технических наук, автор 6-ти монографий и более 130 публикаций, а также свыше 40 изобретений.
Создатель учебных пособий и преподаватель спецкурсов по процессам и оборудованию микро и наноэлектроники и основам нанотехнологий для студентов МИЭТ, МФТИ, МИФИ и сотрудников предприятий по производству изделий микроэлектроники.